原子分辨率300 kv透射电子显微镜在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，*材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。 为了满足这种需求，日立高新技术公司研发出了 h-9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用了的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构......
透射电子显微镜 h-9500 产品详情
透射电子显微镜 h-9500
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原子分辨率300 kv透射电子显微镜
在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，*材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。
为了满足这种需求，日立高新技术公司研发出了 h-9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用了的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。
特点规格
特点用户友好型的操作系统和windows®兼容的图形用户界面设计快速的样品分析，1分钟换样，5分钟内升高压至(300 kv)高稳定性，高分辨率透射电子显微镜高稳定性，高分辨率透射电子显微镜点分辨率为0.18 nm，晶格分辨率为0.1 nm稳定可靠的5轴优中心测角台性能优异，可靠性高性能优异，可靠性高得到市场验证的10级加速器电子枪设计阻抗式高压电缆设计高档可选附件高档可选附件通用样品杆，在日立公司的tem, fib 和 stem系统均可使用可为原子分辨率的动态研究提供加热，冷却和气体注入等多种样品杆备注：fpd(平板显示器)上的图像为模拟图像。
规格项目说明
分辨率0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(点分辨率)
加速电压300kv、200kv*1、100kv*1
放大倍率连续放大模式1,000～1,500,000×
选区模式4,000～500,000×
低倍模式200～500×
电子枪灯丝lab6(六硼化镧灯丝，直流加热)
灯丝交换自动升降式电子枪
高压电缆阻抗电缆
照射系统透镜四级透镜
聚光镜光阑4孔可变
探针尺寸微米束模式：0.05 - 0.2 µm(4级)
纳米束模式：1 - 10 nm(4级)
电子束倾斜±3°
成像系统透镜五级透镜
聚焦图像摇摆调整
利用像散监视器进行正焦补偿
聚焦优化
物镜光阑4孔可变光阑
选区光阑4孔可变光阑
电子衍射选区电子衍射
纳米探针电子衍射
会聚束电子衍射
相机长度250 - 3,000 mm
样品室样品台5轴优中心海帕测角台
样品尺寸3mmφ
样品位置追踪x/y = ±1mm, z = ±0.3 mm
通过cpu控制马达驱动
样品位置显示自动驱动，自动跟踪
样品倾斜α = ±15°, β = ±15°
(日立双倾样品台*2)
防污染冷阱
烘烤功能中温烘烤功能
观察室荧光屏主屏：110 mmφ
聚焦屏：30 mmφ
目镜7.5×
照相室区域选择整张照相/半张曝光
胶片25张(2套胶片盒)
图形用户界面操作系统：windows xp®
显示器19英寸显示器
功能数据库，测量，图像处理
数码ccd 相机*3相机耦合透镜耦合
有效像素1,024 × 1,024 像素
a/d 分辨率12位
真空系统电子枪离子泵：60 l/s
镜筒涡轮分子泵：260 l/s
观察室/照相室扩散泵：280 l/s
前级泵：135 l/min × 3台
*1：放大倍率校准为可选项*2：可选件*3：本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码ccd相机以上规格是在加速电压为300 kv时的承诺
关联产品分类
聚焦离子束tem/sem样品的前处理装置